CVD氣相沉積系統
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                        • 1200℃三溫區3路質... 1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統由三溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區分別由精密...
                        • 1200℃三溫區3路質... 1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD系統由三溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區分別由精密...
                        • 1200℃雙溫區3路質... 1200℃雙溫區3路質量供氣高真空CVD系統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
                        • 1200℃雙溫區3路質... 1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
                        • 1200℃雙溫區3路浮... 1200℃雙溫區3路浮子供氣高真空CVD系統由雙溫區管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫...
                        • 1200℃雙溫區3路浮... 1200℃雙溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由雙溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
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                        • 1700℃兩路浮子供氣... 該管式爐可以用于抽真空和通氣氛,所以又叫真空管式爐和氣氛管式爐。爐管材質采用高純氧化鋁,*高可在1650℃的高溫工作。為...
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