產品詳情
                        • 產品名稱:RTP快速退火爐

                        • 產品型號:CY-O1000-120I-T-RTP
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
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                        簡單介紹:
                        RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。
                        詳情介紹:

                                RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏,設定數據實驗操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口,可以選購我們的真空系統和混氣系統一起使用。

                        RTP快速退火爐應用領域:

                          快速退火爐設備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

                        RTP快速退火爐技術參數:

                        產品型號

                        CY-O1000-120I-T-RTP

                        爐管材質

                        高純石英

                        爐管直徑

                        120mm

                        爐管長度

                        500mm

                        爐膛長度

                        440mm

                        加熱區長

                        400mm

                        恒溫區長

                        200mm

                        工作溫度

                        01000

                        升溫速度

                        推薦80/s,快升溫速度200/s

                        降溫速度

                        200以上≤25min

                        控溫精度

                        ±1

                        控溫模式

                        30段或50段程序控溫

                        顯示模式

                        LCD觸摸屏

                        密封方式

                        304不銹鋼真空法蘭

                        法蘭接口

                        1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)

                        可抽真空

                        4.4E-3Pa

                        供電電源

                        AC:220V 50/60Hz





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