產品詳情
                        • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

                        • 產品型號:
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
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                        簡單介紹:
                        單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改??蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
                        詳情介紹:

                        射頻電源

                         

                        輸出功率

                        150W

                         

                        輸出精度

                        ±1%

                         

                        射頻頻率

                        13.56MHz

                         

                        射頻穩定度

                        ±0.005%

                         

                        冷卻方式

                        風冷

                        1200溫區管式爐

                        供電電壓

                        AC220V,50Hz

                         

                        *大功率

                        2KW

                         

                        加熱溫區

                        單個溫區200mm

                         

                        工作溫度

                        *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

                         

                        控溫精度

                        ±1℃

                         

                        控溫方式

                        AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

                        三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

                         

                        爐管材質

                        高純石英

                         

                        爐管尺寸

                        φ50x800mm

                         

                        密封方式

                        真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

                         

                        可調轉速

                        0-20rpm

                         

                        傾斜角度

                        0-15°

                         

                        真空泵

                        旋片機械泵

                         

                        極限真空度

                        1.0E-1Pa

                         

                        進料方式

                        真空漏斗加螺桿進料

                        豫公網安備 41019702002438號

                        久久人做人爽一区二区三区