產品詳情
                        • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀(增強型)

                        • 產品型號:CY-PSP180G-3TA-RSH
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
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                        簡單介紹:
                        本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設備配有旋轉加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
                        詳情介紹:

                        技術參數

                        樣品臺

                        尺寸

                        100mm

                        旋轉速度

                        1~20rpm可調

                        加熱溫度

                        ≤500℃            

                        控溫精度

                        ±1℃   PID控溫 

                        等離子濺射靶

                        數量

                        2英寸x3

                        冷卻方式

                        水冷

                        真空腔體

                        腔體尺寸

                        φ180mm X 210mm    

                        觀察窗口

                        全向可視

                        腔體材料

                        高純石英

                        開啟方式

                        頂蓋拆卸式

                        上下蓋材質

                        304不銹鋼

                        抽氣接口

                        KF16

                        進氣接口

                        1/4英寸卡套接頭

                        電源配置

                        數量

                        直流電源x1

                        輸出功率

                        *大150W

                        濺射電源

                        1200V

                        *大濺射電流

                        50mA

                        真空系統

                        真空泵類型

                        雙極旋片真空泵

                        抽氣接口

                        KF16

                        排氣接口

                        KF16

                        抽氣速率

                        1.1L/s(4m3/h)

                        極限真空度

                        ≥0.1Pa

                        真空測量

                        電阻真空規

                        其他

                        供電電源

                        AC 220V  50Hz

                        整機功率

                        2kW

                        整機尺寸

                        500mm X 320mm X470mm

                        整機重量

                        30kg


                        豫公網安備 41019702002438號

                        久久人做人爽一区二区三区