產品詳情
                        • 產品名稱:三源高真空蒸發鍍膜儀

                        • 產品型號:CY-1800X-TE3-SS
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
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                        簡單介紹:
                        三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學元件 納米與微電子 太陽能電池
                        詳情介紹:

                        三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

                         三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹:

                         本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

                         三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:

                        金屬和介電膜

                        薄膜傳感器的制造

                        光學元件

                        納米與微電子

                        太陽能電池

                          三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數:

                        三源高真空蒸發鍍膜儀

                        樣品臺

                        尺寸

                        *大支持φ150mm樣品

                        功能

                        可旋轉,*高加熱500

                        蒸發源

                        數量

                        鎢舟x3

                        電源

                        每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源共三組獨立電源

                        真空腔體

                        腔體尺寸

                        φ300x400mm

                        觀察窗口

                        前置φ100mm

                        腔體材料

                        304不銹鋼

                        開啟方式

                        前開門式

                        膜厚控制(選配)

                        晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

                        真空系統

                        前級泵

                        雙極旋片泵

                        抽氣接口

                        KF16

                        次級泵

                        渦輪分子泵

                        抽氣接口

                        CF160

                        真空測量

                        電阻+電離

                        復合真空規

                        排氣速率

                        機械泵1.1L/s

                        分子泵 600L/s

                        極限真空

                        1.0E-5Pa

                        供電電源

                        AC 220V 50/60Hz

                        抽氣速率

                        旋片泵:1.1L/S

                        控制系統

                        PLC自動控制

                        操作界面:觸控屏+操作面板

                        (觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入;用戶友好 PLC 軟件系統,可以通過網絡更新)

                         

                        其他

                        供電電壓

                        AC380V,50Hz

                        整機尺寸

                        1000mm X 800mm X 1500mm

                        整機功率

                        5kW

                        整機重量

                        350kg

                        豫公網安備 41019702002438號

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