產品詳情
                        • 產品名稱:OLED有機無機蒸發鍍膜系統配手套箱

                        • 產品型號:
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
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                        簡單介紹:
                        六源蒸發鍍膜儀以金屬/有機源蒸發為主體,適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜等
                        詳情介紹:

                        一、設備性能:

                        六源蒸發鍍膜儀以金屬/有機源蒸發為主體,適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜等,也可用作教學及生產線前期工藝試驗等,整套設備操作簡便,綜合功能多,擴展空間大,適合及滿足大專院校的教學與科研工作。

                        二、設備基本結構:

                        鍍膜設備由真空室腔體,金屬/有機源系統,樣品臺系統,真空泵機組,膜厚檢測系統,設備機架,電控系統組成,真空室前門可與手套箱對接,采用一體化的設計方案,整套設備結構緊湊、布局簡潔,避免實驗設備外觀凌亂的現象。

                        適應領域:

                        適用于制備金屬電極、鈣鈦礦太陽能電池、OLED、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于于小批量及中試生產或大批量生產前的試驗工作。

                        產品特點:

                        設備兼容有機/無機蒸發,可實現多元分蒸或共蒸獲得多層膜、復合膜,性能穩定,尤其溫控有機蒸發源不僅角度可調,均勻性好,同時可通過進口膜厚儀聯動控制實現速率**控制、摻雜;樣品臺可升降調整源-基片距離,有效節約貴重材料,降低實驗成本;

                        ATTO10全自動高真空電阻蒸發鍍膜系統采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統,采用IPC+network技術,實現整機主要部件的參數化設置、實施實時監控及故障智能診斷以及膜厚全自動監控,有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外,其它操作過程全部在PC上使用軟件控制;提供真空系統、工藝設置、充放氣系統等友好人機操作界面;在工控機上可通過配方設置參數,實現對程序工藝過程和設備參數的設置、儲存和打印。

                        膜厚全自動監控系統,自動設計、工藝讀入、參數設置、實時監控等功能,實現整個鍍膜過程的全自動控制??梢栽O置數十層甚至上百層的膜層控制,簡單實現單層或多層共蒸。


                        三、設備技術指標:

                        1. 真空室腔體

                        外形

                        上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套,真空室內部尺寸 D400*480mm,前后雙開門,后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內部調試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門,前后門各配 DN100 視窗 1 套;

                        底部

                        金屬源接口 2 套,有機源接口 4 套, 復合分子泵接口 1 套,CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套;

                        頂部

                        樣品臺接口 1 套,電動擋板接口 1 套,高真空氣動擋板閥接口 1

                        左側

                        超高真空氣動擋板閥接口 1

                        2. 金屬/有機源系統

                        金屬蒸發源

                        金屬蒸發源 2 :水冷銅電極 2 組,兼容蒸發舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲,配氣動擋板,1KW 直流恒流電源 1 臺(數字顯示),電流調整精度 1A(微調),功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍;

                        有機蒸發源 4

                        有機蒸發源 4 :4CC4ml) 石英舟,溫控電源 2 臺(溫控表顯示精度 0.1℃),溫度區間:室溫-500℃(控溫精度±1℃),配氣動擋板;

                        隔板

                        蒸發源相互獨立,隔板分隔,避免交叉污

                        3. 樣品臺系統

                        基片旋轉

                        轉速 030 轉/分連續可調

                        基片升降

                        電動升降,襯底與蒸發源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續可調;

                        樣品臺

                        圓形托盤 1 套,一次可放置820×20mm 基片

                        基片擋板

                        電動擋板

                        4. 真空泵機組

                        真空泵機組

                        1) 600L/s分子泵 1 臺;

                        2) 8L/s雙級泵 1

                        3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺;

                        4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺;

                        5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺;

                        6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺;

                        7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺;

                        8) KF40 泵閥連接軟管 2 套,KF40 三通 1 套;
                        9) ZDF-5227 數顯真空計 1 臺(測量范圍:1×1051×10-5Pa)。

                        5. 膜厚檢測系統

                        膜厚儀

                        三通道石英晶振膜厚監測儀 1 套;

                        膜厚探頭

                        CF35 水冷膜厚探頭 3

                        6. 設備機架

                        1) 40 碳鋼方管焊接機架 1 套,表面噴塑;

                        2) 萬向輪 4 件,移動調整;

                        3) M16 地腳 4 件,鎖緊定位

                        7. 電控系統

                        金屬源蒸發源氣動擋板

                        2

                        金屬蒸發源電源1kw

                        1

                        有機源蒸發源氣動擋板

                        4

                        有機蒸發源電源

                        2套(12

                        烘烤照明電源

                        1

                        樣品臺電動擋板

                        1

                        總控制電源

                        1

                        PLC 控制

                        配觸摸屏

                        8.手套箱

                        腔體尺寸

                        L1200* W750* H900mm

                        手套

                        3

                        大過渡艙

                        內徑360mm, 600mm

                        小過渡艙

                        內徑150mm, 300mm

                        9. 其他技術參數

                        1) 缺相保護、誤操作保護,聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;

                        2) 供電:~220V 兩相供電系統(峰值 3KW);

                        3) 供水:小型冷水機,冷卻水溫度 5℃~35℃,工作環境溫度:10℃~40℃;

                        4) 供氣:小型無油靜音氣泵,提供 0.2-0.3MPa 氣壓,驅動氣動閥門;

                        5) 極限真空:優于 6×10-5Pa,大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘(充干燥氮氣),關機

                        12 小時真空度≤10Pa。


                        豫公網安備 41019702002438號

                        久久人做人爽一区二区三区