產品詳情
                        • 產品名稱:三靶向上磁控濺射鍍膜儀

                        • 產品型號:CY-MSP500S-2DC-1RF
                        • 產品廠商:成越科儀
                        • 產品文檔:
                        你添加了1件商品 查看購物車
                        簡單介紹:
                        三靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介電薄膜、光學薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等
                        詳情介紹:

                        三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的高性價比磁控濺鍍設備,具有標準化、模塊化、定制化的特點。該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介電薄膜、光學薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,三種靶材可以滿足多層或多層涂層的需要。與同類設備相比,三靶磁控濺射鍍膜儀不僅應用廣泛,而且具有體積小、操作方便等優點。它是實驗室制備材料薄膜的理想設備。

                        三靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:

                        三靶磁控濺射鍍膜機(直流電源+射頻電源)

                        樣品臺

                        濺射模式

                        濺射方向向上,樣品臺位于濺射靶上方;

                        中心頂部設置樣品架,帶一個擋板;

                        樣品臺

                        φ150mm

                        控制精度

                        ±1

                        加熱范圍

                        室溫~500

                        可調轉速

                        1-20rpm可調

                        靶基距離可調

                        靶材和襯底之間的距離可以電動調節

                         

                         

                        磁控靶槍

                        靶面

                        圓形平面靶

                        濺射真空

                        10Pa0.2Pa

                        靶材直徑

                        5050.8mm

                        靶材厚度

                        25mm

                        注:如果靶是磁性材料(如Fe、Co、Ni),厚度不能超過1.5mm,需要強磁濺射靶槍,需要額外采購。

                        絕緣電壓

                        >2000V

                        數量

                        2 英寸*3;每個濺射靶槍上都有擋板

                        電纜規格

                        SL-16

                        靶頭溫度

                        65

                         

                        真空腔體

                        內壁處理

                         

                        電解拋光

                        腔體尺寸

                        φ300mm × 350mm

                        腔體材料

                        304 不銹鋼

                        觀察窗口

                        石英窗,直徑φ100mm,帶擋板

                        密封方法

                        氟橡膠密封

                        打開方式

                        頂部開口,氣缸輔助支架

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                         

                        氣體控制系統

                        流量控制

                        三通道質量流量計:

                         

                        氧氣:范圍0100SCCM

                        氬氣:范圍0200SCCM

                        氮氣:范圍0500SCCM

                        (注意:為了實現更高的無氧環境,必須用高純度惰性氣體清潔真空室至少3次。)

                        氣體類型

                        氬氣、氮氣、氧氣和其他惰性氣體

                        控制閥類型

                        電磁閥

                        控制閥靜態

                        常閉

                        測量線性度

                        ±1.5% F.S

                        測量重復性

                        ±0.2% F.S

                        測量響應時間

                        ≤8 secondsT95

                        工作壓力范圍

                        0.3MPa

                        閥體壓力

                        3MPa

                        工作溫度

                        545

                        閥體材料

                        不銹鋼 316L

                        閥體泄漏率

                        1×10-8Pa.m3/s

                        管道接頭

                        1/4″壓縮接頭

                        輸入和輸出信號

                        05V

                        電源

                        ±15V±5%)(+15V  50mA,  15V 200mA

                        外形尺寸(mm)

                        130 () × 102 () × 28 ()

                        通信接口Interface

                        RS485 MODBUS 協議

                        直流電源

                        電源

                        500W

                        輸出電壓

                        0600V

                        *大輸出電流

                        1A

                        正時長度

                        65000 S

                        開始時間

                        110 S

                        數量

                        2

                        射頻電源

                        電源

                        500W

                        功率輸出范圍

                        0W-500W, 帶自動匹配

                        *大反射功率

                        100W

                        RF頻率

                        13.56MHz+/-0.005% 穩定性

                        電源穩定性

                        ≤5W

                        諧波分量

                        小于 -50dbc

                        數量

                        1

                        整體的極限真空

                        5×10-5Pa

                        真空室增壓率

                        2.5Pa/h



                        豫公網安備 41019702002438號

                        久久人做人爽一区二区三区